The Effect on Electrical Property of Etched Magnetic Tunnel Junction Stack in Cl₂/Ar and HBr/Ar plasma

Su Ryun Min ,  Han Na Cho ,  Seung Pil Choi 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of MgO Thin Films Using a CH₄/Ar Plasma

Hwa Won Lee ,  Eun Ho Kim ,  Tae Young Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Investigation on Etch Characteristics of FePt Magnetic Thin Films Using a CH4/Ar Plasma

Eun Ho Kim ,  Hwa Won Lee ,  Tae Young Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Effects of Etch Parameters on Etching of CoFeB Thin Films in CH₄/O₂/Ar Mix

Tea Young Lee ,  Il Hoon Lee ,  Chee Won Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

The Influence of O₂ Gas on the Etch Characteristics of FePt Thin Films in CH₄/O₂/Ar gas

Il Hoon Lee ,  Tea Young Lee ,  Chee Won Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

New materials and applications for magnetic tunnel junctions

G. Reiss ,  H. B ,  ückl 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

High density plasma etching of MgO thin films in Cl₂/Ar gases

Y. B. Xiao ,  E. H. Kim ,  S. M. Kong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

Properties and applications of magnetic tunnel junctions

G. Reiss ,  H. B ,  ückl 외 5명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2002 .12

Etch Characteristics of MgO Thin Films in Cl2/Ar, CH3OH/Ar, and CH4/Ar Plasmas

Il Hoon Lee ,  Tea Young Lee ,  Chee Won Chung

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

Magnetic tunnel junctions with thin free layer

임우창 ,  박병국 ,  배지영 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2002 .12

Time - to - breakdown characteristics of magnetic tunnel junctions

Young Man Chang ,  Injun Hwang ,  Byung Ki Cho 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of Nanometer-Patterned Magnetic Tunnel Junction Stack for STT-MRAM

Y. B. Xiao ,  E. H. Kim ,  C. W. Chung

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2010 .12

실리콘 트렌치 식각 특성에 미치는 He - O₂ SiF₄ 첨가 가스의 영향

김상기 ,  이주욱 ,  김종대 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

1997 .11

Magnetic tunnel junctions with low Ms free layers

Sang Jin Pa ,  k ,  Wanjun Pa 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2003 .12

ICP Poly Etcher를 이용한 RF Power와 HBr Gas의 변화에 따른 Polysilicon의 건식식각

남상훈 ,  현재성 ,  부진효

Applied Science and Convergence Technology

2006 .11

Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Material using H₂/NH₃ Ion Beam

김예은 ,  김두산 ,  김주은 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

미세구조에 따른 MTJ(Magnetic Tunnel Junction)의 자기적 특성 연구

장필재 ,  경희 ,  김창경

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2000 .05

Effect of barrier materials on the properties of magnetic tunnel junctions

박병국 ,  임우창 ,  배지영 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2002 .12

Anomalies of low - temperature properties in plasma - oxidized magnetic tunnel junctions

이경일 ,  이제형 ,  신경호 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2002 .04

Fabrication and optimization of Co₇₅Fe₂₅ granular magnetic tunnel junctions

Sai ,  a RIAZ ,  Shahzad NASEEM

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08