압전전압 궤환에 의한 미세구동 연삭테이블의 개발

남수룡; 김정두

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자료유형: 학술저널

저자정보: 남수룡 김정두

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 韓國精密工學會誌第12卷第2號

발행연도: 1995.2

수록면: 48 - 58 (11page)

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