가변 초점거리 마이크로 유체렌즈 제작

이준석; 박준근; 김규만

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이준석 박준근 김규만

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2005년도 추계학술대회 논문요약집

발행연도: 2005.10

수록면: 582 - 585 (4page)

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A microlens connected to microfluidic channel is fabricated. The microlens is sealed with an elastomeric membrane which deforms by pressure of fluid driven by a syringe pump resulting in the shape change of the microlens. The optical properties of the microlens could be controlled by changing the microlens shape. The microlens system were made of an elastomer, PDMS, using molding from a photoplastic master patterned by UV photolithography. The test results show the optical property of the lens could be made into convex and concave type by applying the fluidic pressure positive and negative.

#Micro Lens(마이크로 렌즈) #PDMS(탄성중합체) #MEMS

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