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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제17권 제6호
발행연도
2000.6
수록면
185 - 191 (7page)

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목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 웨이퍼 초정밀 절단
3. 실험장치 및 방법
4. 실험결과 및 고찰
5. 결론
참고문헌

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