미세입자 분사가공에서 SU-8 마스크의 특성

고태조; 박동진; 김희술

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자료유형: 학술저널

저자정보: 고태조 박동진 김희술

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.1

발행연도: 2007.1

수록면: 71 - 78 (8page)

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Abrasive jet machining (AJM) has been traditionally used for removing rusts or paints. Nowadays, this is promising technology for micro bulk machining where brittle substrate materials are used. In order to get accurate details, masks such as metal, polymer or elastomer is inevitable. Among them, photo polymer which is sensitive to the light has been attractive for it's high accuracy using photolithography. In this research, SU-8 as a photo polymer is used since it is adequate for making thick mask. So, this paper describes how to make AJM masks using SU-8 with a photolithography process, and investigates the characteristics of SU-8 masks during AJM process. Also, an example of fabrication using AJM was shown.

#Abrasive jet machining(입자분사가공) #Photolithography(사진식각공정) #Mask(마스크) #Micro machining(미세가공) #Selectivity(선택성)

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