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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2006.5
- 수록면
- 157 - 158 (2page)
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A novel nanofabrication process has been developed using two-photon crosslinking (TPC) for the fabrication of threedimensional (3D) SiCN ceramic microstructures applicable to high functional 3D devices, which can be used in harsh working environments requiring a high temperature, a resistance to chemical corrosion, as well as tribological properties. After sequential processes: TPC and pyrolysis, 3D ceramic microstructures are obtained. H ... 전체 초록 보기
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험결과 및 분석
3. 결론
후기
참고문헌
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