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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
289 - 290 (2page)

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In general, atomic force microscope (AFM) used for metrological purpose has measuring range less than a few hundred micrometers. We design and fabricate an AFM with long measuring range of 200 ㎜ × 200 ㎜ in X and Y axes. The whole stage system is composed of surface plate, global stage, microstage. By combining global stage and microstage, the fine and long movement can be provided. We measure the position of the stage and angular motions of the stage by laser interferometer. A piezoresistive type cantilever is used for compact and long term stability and ... 전체 초록 보기
#Atomic Force Microscope(원자간력 현미경) #Multi-Axis Control(다축 제어) #FPGA Module(FPGA 모듈)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. Long Range Atomic Force Microscope
3. FPGA를 이용한 다축 제어 프로그램
4. 결론 및 향후 과제
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