박막구조해석을 위한 표면효과를 고려하는 연속체 모델

최진복; 정광섭; 조맹효

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최진복 정광섭 조맹효

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2007.5

수록면: 2,078 - 2,082 (5page)

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The classical continuum theory-based thin film model is independent of their size and the surface effect can be ignored. But the surface to bulk ratio becomes very large in nano-size structures such as nano film, nano wire and nano beam. In this case, surface effect plays an important role and its contribution of the surface effect must be considered. Molecular dynamics simulation has been a conventional way to analyze these ultra-thin structures but structures in the range between submicro and micro are difficult to analyze by classical molecular dynamics due to the restriction of computing resources and time. Therefore, in present study, the continuum-based method is considered to predict the overall physical and mechanical properties of the structures in nano-scale, especially, for the thin-film. The proposed continuum based-thin plate finite element is efficient and reliable for the prediction of nano-scale film behavior.

#surface effect(표면효과) #thin film(박막) #multi-scale analysis(멀티스케일해석) #continuum(연속체) #finite element method(유한요소법)

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