광학입자센서 내 유동장과 측정영역이 측정효율에 미치는 영향

김영길; 전기수; 김태성

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저자정보: 김영길 전기수 김태성

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2007.5

수록면: 3,299 - 3,304 (6page)

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The OPS (Optical Particle Sensor) using light scattering from the particles (real-time measurement without physical contact to the particles) can be used for cleanroom or atmospheric enviro㎚ent monitoring. For particles smaller than 300 ㎚, the detection efficiency becomes lower as scattered light decreases with particle size. To obtain higher detection efficiency with small particles, the flow field in particle chamber and the detection volume should be designed optimally to achieve maximum scattered light from the particles. In this study, a commercial computational fluid dynamics software FLUENT was used to simulate the gas flow field and particle trajectories with various optical chamber designs for 300 ㎚ PSL particle. For estimation of laser viewing volume, we used a commercial computational optical design program ZEMAX. The results will be a great help in the development of OPS which can measure small particles with higher detection efficiency.

#optical particle sensor(광학입자계수기) #monitoring system(모니터링 시스템) #light scattering(광산란)

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