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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.6
수록면
1,493 - 1,497 (5page)

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This paper reports the design and simulation of thermal double-cantilever bimorph(TDCB) actuators that can be used to drive micromirrors. TDCB actuators combine two paralleled bimorph actuators acting in opposite directions for rotational control of micromirrors. Each actuator is structured by nickel and silicon dioxide thin films with an embedded polysilicon line as a heat source. With a size of only 20㎛ width and 100 ㎛ length, TDCB actuators result in vertical displacement of 28㎛ at 11V DC which is a significant improvement, comparing to the conventional thermal bimorph actuators.
#Micro Actuators #Thermal Double-Cantilever Bimorph Actuators #Thermal Expansion #Intellisuite

목차

Abstract
1. Introduction
2. Modeling of Micromirrors
3. Analysis
4. Conclusions
Acknowledgement
References

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