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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.11
수록면
23 - 27 (5page)

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This paper presents a study on micro forming technologies for micro-electro-mechanical systems(MEMS) parts such as micro gears below 450㎛ in diameter and 38 in module. For this purpose, it is important to develop new methods to fabricate micro gears and choose suitable materials for micro forming. Generally micro gears made by MEMS process butin this study micro gears made by extrusion process using micro dies. Photochemically machinable glass has been used to fabricate micro dies by photo-lithography and anisotropic etching techniques. A new forward extrusion machine has been developed for this study. LLDPE(Linear Low Density Polyethylene) and EVA(Ethylene Vinyl Acetate) have been used in micro extrusion. Specimens were placed in a container and extruded by a piezoelectric actuator. Micro extrusion has succeeded in forming micro-gear shafts.
#Micro forming(마이크로 포밍) #MEMS(초소형 정밀기계기술) #Micro gears(마이크로 기어) #Forward extrusion(전방압출) #FE-Simulation(FE-시뮬레이션)

목차

Abstract
1. 서론
2. 마이크로 금형 설계 및 제작
3. 압출 소재 특성
4. 마이크로 압출기 설계 및 제작
5. 마이크로 압출 실험 결과
6. 결론
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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-550-016803292