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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.11
수록면
1 - 3 (3page)

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NIL(Nano imprint lithography) is one of the most promising lithography techniques. There are many variants of NIL, and two major techniques of them are thermal NIL and UV NIL. Here, we focus ourselves on the thermal NIL. During the thermal NIL, the polymeric patterns experience large mechanical strain and high temperature, and this often leads to malformation of polymeric patterns. So it is needed to improve the pattern fidelity and contrast, and these are believed to be closely related to the process conditio ... 전체 초록 보기
#MD(분자동역학) #PMMA #Stress-Strain(응력-변형률)

목차

Abstract
1. 서론
2. PMMA 물성
3. 분자동역학 해석
4. 결론
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