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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2006년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2006.11
수록면
1 - 6 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2006

집속이온빔을 이용한 탄소나노튜브 팁의 조작
윤여환 ,  박준기 ,  한창수 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2006.12 학술저널
집속이온빔을 이용한 탄소나노튜브 팁의 조작 및 성능평가
윤여환 ,  신영현 ,  한창수 대한기계학회 춘추학술대회 2006.11 학술대회자료
Focus Ion Beam을 이용한 탄소나노튜브 팁의 조작
윤여환 ,  한창수 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

초록· 키워드

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We report the structural modification of carbon nanotube (CNT) tip for Atomic force microscopy (AFM) based on ion beam irradiation. In general, CNT tip assembled by dielectrophoresis would often have non-vertical angle, very crooked shape or too lengthy one. Therefore, these tips should be modified to the appropriate shape to use as an AFM tip. We found that the ion beam could contribute to merge the bundled CNTs, to make the CNT diameter uniform as well as to make the wavy shape of CNT straight. In addition, we could cut the free-standing CNT on a Si tip using focused ion beam(FIB). We measured anodic aluminum oxide sample and trench structure to estimate the performance of FIB-modified tip and compared with those of conventional Si tip. We demonstrate that FIB modified tip in non contact mode had superior characteristics than conventional tip in the respects of wear, image resolution and sidewall measurement.
#CNT(탄소나노튜브) #DEP(이중전기영동) #FIB(집속이온빔) #AFM tip(원자현미경팁 )

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과
4. 결론
후기
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