다중벽 탄소나노튜브를 이용한 나노 브리지 제작

이종홍; 원문철; 서희원; 송진원; 한창수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이종홍 원문철 서희원 송진원 한창수

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.3

발행연도: 2007.3

수록면: 134 - 139 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

다중벽 탄소나노튜브를 이용한 나노 브리지 제작

이종홍 , 원문철 , 서희원 외 2명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.03 학술저널

2006

다중벽 탄소나노튜브를 이용한 공진기 제작

이종홍 , 서희원 , 송진원 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

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We report the suspension of individual multi-walled carbon nanotubes (MWNTs) from the bottom substrate using deep trench electrodes that were fabricated using optical lithography. During drying of the solution in dielectrophoretic assembly, the capillary force pulls the MWNT toward the bottom substrate, and it then remains as a deformed structure adhering to the bottom substrate after the solution has dried out. Small-diameter MWNTs cannot be suspended using thin electrodes with large gaps, but large-diameter MWNTs can be suspended using thicker electrodes. We present the statistical experimental results for successful suspension, as well as the feasible conditions for a MWNT suspension based on a theoretical approach.

#NEMS(나노전자기계 시스템) #Multi-wall Carbon Nanotube(다중벽 탄소나노튜브) #Resonator(공진기) #Bridge(브리지) #Dielectrophoresis(유전영동) #Capillary Force(모세관힘) #Focused Ion Beam(집속이온빔)

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한창수

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