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논문 기본 정보

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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제23권 제4호
발행연도
2006.4
수록면
162 - 167 (6page)

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Hot embossing lithography(HEL) has the production advantage of comparatively few process step, simple operation, a relatively low cost for embossing tools(Si), and high replication accuracy for small features. In this paper, we considered the nano-molding characteristic according to molding parameters(temperature, pressure, times, etc) and induced a optimal molding condition using HEL. High precision nano-patter master with various shapes were designed and manufactured using the DRIE(Deep Reactive Ion Etching), LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) and thermal oxidation process, and we investigated the molding characteristic ofDVD and Blu-ray nickel stamp. We induced flow behaviors of polymer, rheology by shapes and sizes of the pattern through various molding experiments. Finally, with achieving nano-structure molding with high aspect ratio, we will secure a basic technology about the molding of large-area nano-pattern media.
#Blu-ray disc(블루레이 디스크) #Hot Embossing(핫엠보싱) #Micro rheology(마이크로 유동학) #Nano-molding(나노 성형)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 대면적 나노 성형
3. 나노 패턴 성형
4. 결론
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