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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제10호
발행연도
2005.10
수록면
174 - 185 (12page)

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This paper presents the design, fabrication, and testing results of a dual stage actuator system for a fine positioning of magnetic heads in magnetic disk drives. A novel rotary microactuator which is electrostatically driven and utilized as a secondary actuator was designed. The stator and rotor electrodes in the microactuator was revised to have the optimal shapes and hence produces much higher rotational torque compared with the conventional comb-shape electrodes. The microactuators were successfully fabricated using SoG(silicon on glass) processing technology, which is known as being cost-effective. The fabricated microactuator has the structural thickness of 45㎛ with the gap width of approximately 3㎛. The dynamic characteristic of microactuatorlslider assembly was investigated, and its natural frequency and DC gain were measured to be 304㎑ and 32㎛/V, respectively. The microactuatorlslider assembly was integrated into a HDD model V10 of Samsung Electronics Co. and a dual servo algorithm was tested to explore the tracking performance of dual stage actuator system where the LDV signals instead of magnetic head signals were used. Experimental res ults indicate that this system achieves the tracking accuracy of 30㎛. This value corresponds to a track density of 85,000 track per inch(TPI), which is about 3 times greater than that of current hard disk drives.
#HDD(하드디스크드라이브) #Dual stage actuator(이단구동기) #Rotary microactuator(회전형마이크로액추에이터) #Dual servo system(이단서보시스템)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 마이크로 액추에이터의 설계
3. 마이크로 액추에이터의 제작
4. 마이크로 액추에이터를 채용한 HDA 조립
5. 마이크로 액추에이터의 구동 특성 측정
6. 이단구동 제어기의 설계 및 서보 실험
7. 결론
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