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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 제22권 제5호
- 발행연도
- 2005.5
- 수록면
- 63 - 71 (9page)
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When an almost flat surface under test is measured by an interferometer, the measurement result is largely influenced by systematic errors that include geometrical errors of a reference flat surface.
To determine the systematic errors of the interferometer by the conventional method that is called the three flat method, we must take the reference flat surface out from the interferometer and measure it. Because of difficulties to set the reference flat surface to the interferometer exactly and quickly, this method is not practical.
On the other hand, the method that measures a surface under test with some shifts in the direction being perpendicular to the optical axis of the interferometer is studied. However, the parasitic pitching, rolling and up-down movement caused by the above shifts brings serious error to the measurement result, and the algorithm by which the influences can be eliminated is not still established.
In this paper, we propose the self-calibration algorithm for determining the systematic errors that include geometrical errors of a reference flat surface by several rotation shifts and a linear shift of general surface under test, and verify by a numerical experiment that this algorithm is useful for determining the systematic errors.
To determine the systematic errors of the interferometer by the conventional method that is called the three flat method, we must take the reference flat surface out from the interferometer and measure it. Because of difficulties to set the reference flat surface to the interferometer exactly and quickly, this method is not practical.
On the other hand, the method that measures a surface under test with some shifts in the direction being perpendicular to the optical axis of the interferometer is studied. However, the parasitic pitching, rolling and up-down movement caused by the above shifts brings serious error to the measurement result, and the algorithm by which the influences can be eliminated is not still established.
In this paper, we propose the self-calibration algorithm for determining the systematic errors that include geometrical errors of a reference flat surface by several rotation shifts and a linear shift of general surface under test, and verify by a numerical experiment that this algorithm is useful for determining the systematic errors.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 계통 오차 결정을 위한 알고리즘
3. 수치 실험
4.1 계통 오차을 결정하는 알고리즘
4.2 계통 오차 결정하는 알고리즘의 타당성을 검증하는 수치 실험
4.3 향후의 전망
후기
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