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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험방법 및 재료, 레이저의 특징
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
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Excimer laser를 이용한 글라스의 기계적 특성
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2005 .10
세라믹 미세 구멍가공에서의 레이저 초점위치가 미치는 가공특성 연구 ( A study of machining characteristics effecting on laser focusing position in the ceramics microhole machining )
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2001 .01
산업용 Excimer 레이저의 응용현황 ( Applications of Industrial Excimer Lasers )
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1987 .01
세라믹($AI_2$$O_3$)의 미세구멍 가공특성에 대한 연구
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2001 .01
Excimer Laser Processing for the Electronics Industry
Advanced and Future Microelectronics Workshop - Advanced Packaging Technology -
1991 .01
Excimer Laser Lithography Equipment
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1989 .01
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1997 .11
엑시머 레이저를 이용한 파이렉스 유리의 미세가공 특성 연구
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1995 .01
Excimer laser 처리에 의한 광증폭용 레이저다이오드의 COD level 향상 ( COD level increase of pump laser diode by excimer laser treatment )
대한전자공학회 기타 간행물
1995 .01
Laser direct writing 방법에 의한 미세유체소자용 패턴 제작 I - 폴리머에 대한 Excimer laser의 반응성 분석 -
한국레이저가공학회 학술대회 논문집
2002 .01
엑사이머 레이저가공에서의 빔변수의 영향 ( Effects of Beam Parameters on Excimer Laser Machining )
대한기계학회 춘추학술대회
1997 .01
3차원 마이크로 가공을 위한 새로운 접근법
한국동력기계공학회 학술대회 논문집
2001 .11
Al₂O₃ 세라믹의 미세구멍 가공시 가공조건과 보조가스가 미치는 영향
한국공작기계학회지
1999 .10
ArF Excimer Laser Lithography
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
폴리머의 레이저가공 모델링
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
1998 .11
The Optical System for ArF Excimer Laser Exposure Tool
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
엑시머 레이저를 이용한 마이크로 렌즈 가공 모델링 및 시뮬레이션
한국생산제조학회지
2004 .02
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