다층 구조 Silicon Carbide 나노 입자를 사용한 나노 부유 게이트 커패시터의 형성 방법과 전기적 특성 연구

이태희; 이동욱; 김선필; 김은규

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이태희 이동욱 김선필 김은규

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제33회 하계학술대회 초록집

발행연도: 2007.8

수록면: 304 - 304 (1page)

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