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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.11
수록면
195 - 199 (5page)

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In this study, we carry out measurement of heat flux using the micro-machined layered type heat flux sensors, which are fabricated by means of MEMS technique. The thermopile, 21 pairs of Cu-Ni thermocouples, is used in the heat flux sensor for EMF measurement generated by the temperature difference between hot and cold junctions. We present the experimental procedure to calibrate the correlation between heat flux supplied through the foil heater by power supply and EMF from the thermopile in the machined sensor. The calibration of the machined heat flux sensors is performed in heat flux range of 0.3~5.5 ㎾/m². As a result, we identify the linear correlation between the heat flux and EMF and present that the sensitivities of this sensor is 343.0 ㎶/(W/㎝²).
#Micro heat flux sensor(미세 열유속센서) #Calibration(보정) #Convection type calibration system(대류형 검정장치) #Sensitivity(민감도)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치의 구성
3. 실험 결과 및 토의
4. 결론
참고문헌

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