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대한기계학회 대한기계학회 기타 간행물 2002년도 기계관련 산학연 연합심포지엄 강연 및 논문 초록집
발행연도
2002.11
수록면
965 - 969 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

분광결상 타원계측법을 이용한 패턴이 형성된 나노박막의 두께측정
제갈원 ,  조용재 ,  조현모 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004.06 학술저널

2002

분광 결상 타원계측기를 위한 결상 분광기의 설계 및 시료측정
제갈원 ,  예상헌 ,  김수현 외 3명 대한기계학회 기타 간행물 2002.11 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 단축 결상 분광기
3. 실험 및 결과
4. 결론
후기
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예상헌 ,  곽윤근 ,  김수현 외 3명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2007 .06
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제갈원 ,  조용재 ,  조현모 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2004 .06

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