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대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2005.5
수록면
162 - 167 (6page)

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In order to measure the mechanical properties of gold films on Si substrate, two types of specimens, i.e., bridged films and circular membranes, are manufactured. Using the wedge tip, the bridged films are indented so that the bridged gold films are pushed off, which is called as V-peel test. The load-deflection curves obtained by the V-peel tests are analyzed with the concept of geometrically nonlinear beam by using the minimum potential energy theory together with Ritz method. Young’s modulus and residual stress of the bridged gold films are obtained. Blister test is also conducted to measure the Young’s modulus and residual stress of the circular membrane specimens, of which deformation is measured by Twyman-green interferometer. By gradually increasing the applied pressure in the blister test, the interfacial fracture toughness between the gold film and Si substrate is measured.
#V-peel test #Blister test #Mechanical properties #Residual stress #Interfacial fracture toughness #Thin films #Membranes.

목차

Abstract
1. 서론
2. 기하학적 비선형 막의 거동 해석
3. 실험
4. 결과 및 고찰
5. 결론
Acknowledgements
참고문헌

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