나노압입과 유한요소법을 이용한 단결정 실리콘의 파괴특성 평가

백승; 석창성; 구재민

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 백승 석창성 구재민

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 60주년 기념 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2005.5

수록면: 628 - 632 (5page)

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Nano-indentation test is used widely to determine the fracture toughness of brittle materials and to provide information on important material properties such as the Young’s modulus and hardness. In this study, using nano-indentation testing, atomic force microscope (AFM), and finite element method (FEM), we performed the indentation fracture toughness and fracture strength measurement for a (100) single crystalline silicon at different load states. In addition, the loads of the phase transformation events during unloading were estimated by the load-depth curves. The phase transformation load and micro-crack propagation events at pop-out during the unloading process depended on the maximum applied indentation load.

#Silicon(실리콘) #Fracture toughness(파괴 인성) #phase transformation(상 변화)

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