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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.24 No.12
발행연도
2007.12
수록면
50 - 56 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2009

펨토초 레이저의 이송속도에 따른 Invar 합금의 어블레이션 특성
정일영 ,  강경호 ,  김재도 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.03 학술저널

2007

펨토초 레이저를 이용한 OLED용 Shadow Mask Invar 합금의 어블레이션
정일영 ,  강경호 ,  김재도 외 3명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2007.12 학술저널

2006

펨토초 레이저를 이용한 Invar 합금의 어블레이션
정일영 ,  강경호 ,  김재도 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.10 학술대회자료

초록· 키워드

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Femtosecond laser ablation of the Invar alloy and hole drilling for a shadow mask are studied. We used a regenerative amplified Ti-sapphire laser with a 1㎑ repetition rate, 184fs pulse duration and 785㎚ wavelength. Femtosecond laser pulse was irradiated on the Invar alloy with air blowing at the condition of various laser peak power. An ablation characteristic of the Invar alloy was appeared non-linear at 125J/㎠ of energy fluence. For the application to a shadow mask, the hole drilling of the Invar alloy with the cross section of a trapezoidal shape was investigated. The ablated micro-holes were characterized using an atomic force microscopy(AFM). The optimal condition of hole pattern for a shadow mask was 4.urn z-axis feed rate, 0.2㎜/s circular velocity, 26.4μJ laser peak power. With the optimal processing condition, the fine circular hole shape without burr and thermal damage was achieved. Using the femtoseocnd laser system, it demonstrates excellent tool for the Invar alloy micro-hole drilling without heat effects and poor edge.
#Shadow mask(쉐도우 마스크) #Invar alloy(인바 합금) #Femtosecond laser(펨토초 레이저) #Laser ablation(레이저 가공) #Energy fluence(에너지 플루언스)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 펨토초 레이저 어블레이션
3. 실험방법
4. 결과 및 토론
5. 결론
후기
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