PECVD 공정에 의한 TiC, TiN 및 Ti(CN)의 마찰 마모 특성 연구

이봉구; 오성모; 전찬열; 김정기; 김동현

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이봉구 오성모 전찬열 김정기 김동현

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국공작기계학회 논문집 Vol.14 No.2

발행연도: 2005.4

수록면: 1 - 7 (7page)

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In order to determine the wear properties of PECVD ceramic coatings, wear process was evaluated using the coated pin of Falex Tribosystem. Coating materials deposited wear the TiC, TiN and Ti(CN). An experimental process was established to determine the tribological characteristics of friction and wear behavior under the variation of applied load, temperature and sliding distance by the Falex test machine. The experimental results indicate that TiN coatings compared with TiC coatings on the materials have the excellent friction and wear characteristics. However TiC coatings compared with TiN coatings have a low friction coefficient with steel and good thermal stability, and Ti(CN) has the excellent anti-wear property as well as the superiority of extreme pressure property. Compound coatings compared with simple coatings show improved tribological characteristics.

#Surface modification(표면개질) #Friction(마찰) #Anti-wear(내마모) #Extreme Pressure(극압) #Thermal stability(열안정성) #Wear(마모)

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[학술지(정기간행물)] - / pp.667~682. / An Experimental Study of the Modified Chemical Vapor Deposition Process-Temperature Distribution and Particle Deposition Measurements 18

[학술지(정기간행물)] - / 1998 / A Study on the Characteristics of Ceramics Coating with PVD 22 (7) : 1229 ~ 1236

[학술지(정기간행물)] - / 1994 / Techniques and Applications in Surface Engineering : 382 ~ 386

[학술지(정기간행물)] - / 2003 / "Wear Behaviors of Ceramics TIN, TIC and TICN with Arc Ion Plating" 17 (12) : 1904 ~ 1911

[학술지(정기간행물)] - / 1993 / A Study on the Lubricational Characteristics with TiN Coating of Metal Surface

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