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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
77 - 82 (6page)

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핫엠보싱 공정에 의한 다양한 나노소자의 제조에 있어서, 기존의 핫플레이트 방식 보다 더 생산성이 뛰어난 롤방식 핫엠보싱 공정 개발에 적용할 유도가열방식 히팅롤의 개발에 관하여 연구하였다. 아울러 본 연구의 최종목표인 롤투롤 핫엠보싱 제조공정 개발을 위한 다양한 물성특성, 공정특성, 온도 및 압력조건 등의 데이터를 추출하기 위한 특성시험을 수행할 수 있는 시험제품을 설계 제작하였다.
연구의 결과로 유도가열방식 히팅롤을 설계하기 위한 전기자기적 해석을 수행하였으며, 이 과정을 프로그램화하여 설계를 자동화하였다. 또한 히팅롤의 외통에 열확산 수단인 히트파이프를 다수 삽입하여 히팅롤의 표면온도편차를 ±0.5도까지 줄일 수 있어서 나노소자 제조 품질의 향상도 기대할 수 있게 되었다.
#Hot Embossing #Nano Imprint #Heating Roll #Induction Heating #Hot Plate

목차

Abstract
1. 서론
2. 유도가열 히팅롤의 원리 및 설계기술
3. 롤타입 핫엠보싱 시험장비의 개발
4. 결론
참고문헌

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