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저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
379 - 384 (6page)

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Currently, in order to increase its applicability, a microsystem has been expanded to various areas such as micro fluidics. Among them a micro-pump is required to deliver the fluid without overflow, which can be possible only with a consistent surface of the micro-channel. In general, the application of the etching process in MEMS is restricted to the silicon-based materials and it is difficult to obtain the required surface roughness. Micro-machining, however, makes it possible to obtain the various surface roughness with controls of spindle, feed, and depth of cut, etc.
In this paper, micro-milling process has been used to machine the micro-channels with different materials such as silicon, steel, and non-ironic metals and the results are compared with those of the computer simulation, called 'surface-shaping system'. Through the experiments more appropriate material of the micro-channel and the optimal machining conditions are obtained and these results are proven by a high speed camera.

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 장치 및 방법
3. 마이크로 드밀을 통한 채널 가공
4. 가공 결과와 유동 실험
5. 결론
참고문헌

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