마이크로 채널에서의 표면 거칠기와 유동성에 관한 연구

홍민성; 김종민; 정현수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 홍민성 김종민 정현수

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집

발행연도: 2006.5

수록면: 379 - 384 (6page)

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Currently, in order to increase its applicability, a microsystem has been expanded to various areas such as micro fluidics. Among them a micro-pump is required to deliver the fluid without overflow, which can be possible only with a consistent surface of the micro-channel. In general, the application of the etching process in MEMS is restricted to the silicon-based materials and it is difficult to obtain the required surface roughness. Micro-machining, however, makes it possible to obtain the various surface roughness with controls of spindle, feed, and depth of cut, etc.
In this paper, micro-milling process has been used to machine the micro-channels with different materials such as silicon, steel, and non-ironic metals and the results are compared with those of the computer simulation, called 'surface-shaping system'. Through the experiments more appropriate material of the micro-channel and the optimal machining conditions are obtained and these results are proven by a high speed camera.

#Micro-milling #Micro-pump #Surface Roughness #Capillary #Micro-channel

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