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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2006 춘계학술대회 논문집
발행연도
2006.5
수록면
485 - 489 (5page)

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Recently, demand the ultra precision product which is increasing rapidly is used extensively frontier industry field such as semi-conductor, computer, aerospace, precision machine. Ultra precision processing is the portion that is very needed to NT in the field of mechanical engineering. The latest date, together with radical advancement of electronic and photonics industry, necessity of ultra precision processing is on the increase for the manufacture of various kernel parts those are connected with these industrial fields. Specially, require motion accuracy of high resolution of nm order in stroke of hundreds millimeters according as diameter of processing object great and processing accuracy rises. In this case, the response speed absolute delay because inertial mass of moving part is very large. Therefore, real time motion error compensation becomes very hardly.
In this paper, we used ultra precision cutting unit(UPCU) to cope such problem. a UPCU is designed and tested to obtain sub-micrometer from accuracy in diamond turning of flat surfaces. The thermal growth spindle error is compensated for real time using a UPCU driven by piezoelectric actuator along with a laser encoder displacement sensor.
#Error compensation #Ultra precision lath #PZT #Laser encoder #ultra precision cutting unit(UPCU) #Flexure hinge #The thermal growth error

목차

Abstract
1. 서론
2. 시스템 구성 및 오차측정
3. UPCU의 구동특성
4. UPCU의 초정밀위치결정 능력
5. UPCU의 오차추종 성능실험
6. 결론
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