마이크로 렌즈가공용 공구제조 및 가공정도 향상 연구

제태진; 최두선; 이응숙; 황경현; 홍성민; 이종찬

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 제태진 (한국기계연구원) 최두선 이응숙 황경현 홍성민 이종찬

저널정보: 한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 추계학술대회 논문집

발행연도: 2005.10

수록면: 454 - 459 (6page)

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With mechanical machining method, manufacturing of the micro pattern structure like micro lens array has been next to impossible. So till now, lithography or etching method has been used widely in manufacturing micro lens array mold. Mechanical micro lens array mold technology still on the step of technological development. when it comes to commercializing, accompanies some problems in tools and machining method.
The diamond tool for machining micro lens is a rotational tool having designated spherical cutting edge. Therefore, the machining is influenced by tool design and manufacturing, setting accuracy of cutting edge on the axis of rotation, and run-out accuracy. etc.
This paper presents these: analysis of machined surface's shape at the position of cutting edge and run-out error at tool setting; considerations in tool designing and manufacturing; methods of reduction at run-out error, when machining micro lens with the end-milling method using a single-edge semi-spherical tool.

#Micro End-mill #Fabrication System #Machining Process #Micro Parts #Micro Mold #High Aspect Ratio Micro Structure

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