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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 춘계학술대회 논문집
발행연도
2005.5
수록면
360 - 363 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (5)

2005

갈륨액체금속 이온원과 인듐액체금속 이온원의 빔 특성에 대한 연구
현정우 ,  임연찬 ,  정강원 외 4명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2005.05 학술대회자료

2004

액체 금속 이온원의 빔 안정도 향상
현정우 ,  임연찬 ,  김성수 외 6명 Applied Science and Convergence Technology 2004.12 학술저널
액체금속이온원의 빔안정도 향상
현정우 ,  임연찬 ,  김성수 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.08 학술대회자료
액체 금속 이온원의 빔 안정도 향상
현정우 ,  임연찬 ,  김성수 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2004.04 학술대회자료
빔의 안정성이 향상된 갈륨을 이용한 액체금속이온원의 제작
현정우 ,  오현주 ,  임연찬 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2004.02 학술대회자료

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본 연구에서는 인듐 액체금속이온원을 제작하여 빔 특성에 대해 연구를 하였으며, 기존에 연구를 하였던 갈륨 액체금속이온원의 빔특성과 비교 분석 하였다. 빔특성 분석을 위해 빔 안정도, 전류-전압 특성곡선, 에너지 퍼짐을 측정하였다. 액체금속이온원에 사용되는 액체금속 저장소 및 바늘전극(tip)은 500㎛의 직경을 갖는 텅스턴을 사용하였으며, 국내에서 제작된 제품을 사용하였다. 액체금속 저장소의 구조는 이전에 구상하여 연구가 이루어진 6개의 pre-etching된 텅스텐 와이어(wire)가 묶여진 형태를 사용하였다.
#Ga Liquid Metal Ion Source, Indium Liquid Metal Ion Source

목차

Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험장치 및 방법
Ⅲ. 실험결과 및 분석
Ⅳ. 결론
후기
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