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General purpose of cylindrical capacitive displacement sensor(CCS) is measuring run-out motion and deflection of rotor. If CCS has narrow sensing range, its sensitivity coefficients must be calibrated precisely. And x, y component of CCS output can be coupled.
In this research, CCS calibration procedure is automated with automatic calibration program and PC-controlled stage. And, coupled-terms of CCS signals were removed and the errors between measured position and mapped CCS signal were reduced obviously by sensitivity matrix that linearly.

목차

Abstract
1. 서론
2. 원통형 정전용량 변위센서
3. 원통형 정전용량 변위센서의 검보정
4. 결론
참고문헌

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