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이용수
ABSTRACT
1. 서론
2. 모델링
3. 최적 제어계 구성
4. 실험 및 고찰
5. 결론
후기
참고문헌
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초정밀 평면 X-Y 스테이지의 시뮬레이션 및 제어성능 평가
한국생산제조학회지
2002 .10
평면 X-Y 스테이지의 초정밀 위치결정을 위한 최적 설계 및 제어시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
초정밀 평면 X-Y 스테이지의 최적제어기 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
초정밀 스테이지 개발을 위한 동역학 및 제어 시뮬레이션
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
초정밀 스테이지용 전단형 MR 댐퍼의 설계 및 성능 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2013 .05
MR 댐퍼를 이용한 정밀 스테이지 진동 제어 시스템 개발
한국소음진동공학회 학술대회논문집
2018 .04
초정밀스테이지의 위치결정정도 향상에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .05
광섬유 레이저 엔코더를 이용한 초정밀 X-Y 스테이지의 위치결정에 관한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2007 .06
마이크로 스테이지의 유한요소법을 이용한 최적설계와 초정밀 위치제어에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
선삭가공을 위한 초정밀스테이지의 위치제어실험
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
초정밀 6자유도 스테이지의 모델링 및 해석
대한기계학회 춘추학술대회
2008 .05
나노모터를 이용한 초정밀 스테이지 설계
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .04
초정밀 스테이지의 강인 제어
대한기계학회 논문집 A권
2006 .09
초정밀작업을 위한 6자유도 마이크로 스테이지의 개발 ( Development of a 6 Degrees-of-Freedom Micro Stage for Ultra Precision Positioning )
대한기계학회 논문집 A권
1998 .02
초정밀 Decoupled 이중 스테이지의 설계 및 제어
대한기계학회 춘추학술대회
2005 .11
초정밀 마이크로 위치결정 스테이지의 제작 및 평가
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2002 .05
초정밀 마이크로 위치결정 스테이지의 설계
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2001 .10
전자기력 제어를 이용한 6자유도 초정밀 스테이지
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .03
압전 액추에이터를 이용한 초정밀 스테이지 설계에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2015 .10
초정밀 스테이지를 위한 2차 모델 기반의 강건 제어
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2006 .05
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