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이용수
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
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DC마그네트론 스퍼터링법으로 PET 기판위에 저온 증착한 ITO박막의 비저항과 굽힘 저항성에 대한 RF인가의 영향
한국표면공학회지
2008 .10
Characteristics of ITO Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering using for Flexible Displays
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
RF 부가형 DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 PET 기판에 증착한 ITO 박막의 전기적 및 기계적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
DC magnetron sputtering 방법으로 형성한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 특성 연구
한국정보통신학회논문지
2006 .03
DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ITO 초박막의 SnO2 함량에 따른 물성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
반응성 마그네트론 프로세스에 의한 ITO박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
Properties of Ag/ITO film deposited using the DC magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
반응성 DC 스퍼터법으로 제조한 ITO 박막의 물성에 미치는 RF-bias의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
반응성 dc 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 ITO박막에 미치는 산소분압의 영향
한국표면공학회지
1998 .06
반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 박막의 전기적 특성 평가
한국표면공학회지
2014 .12
RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
RF magnetron sputtering에 의해 제조된 ITO 박막의 특성 및 열처리에 의한 특성 변화
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2008 .04
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
Properties of ITO (Indium Tin Oxide) Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering Using DC and Pulse Modes
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .05
진공 열처리에 따른 ITO 박막의 특성 변화
열처리공학회지
2013 .01
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ITO 기판에 불순물 증착에 관한 연구
전기학회논문지 P
2015 .12
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