지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
The ITO films were deposited on glass substrates by RF-superimposed dc reactive magnetron sputtering and were annealed in N₂ vacuum furnace with temperatures in the range of 403 K~573 K for 30 minutes. Electrical, optical and structural properties of ITO films were examined with varying annealing temperatures from 403 K to 573 K. The resistivity of as-deposited ITO films was 5.4×10?⁴Ω㎝ at the sputter conditions of applied RF/DC power of 200/200 W, O₂ flow of 0.2 sc㎝ and Ar flow of 0.2 sc㎝. As a result of annealing in the temperature range of 403 K~573 K, the crystallization occurred at 423 K that is lower than the crystallization temperature caused by a conventional sputtering method. And the resistivity decreased from 5.4×10?⁴Ω㎝ to 2.3×10?⁴Ω㎝, the carrier concentration and mobility of ITO films increased from 4.9×10 20/㎤ to 6.4×1020/ cm3, from 20.4 ㎠/Vsec to 41.0 ㎠/Vsec, respectively. The transmittance of ITO films in visible became higher than 90% when annealed in the temperature range of 423 K~573 K. High quality ITO thin films made by RF-superimposed dc reactive magnetron sputtering and annealing in N₂ vacuum furnace will be applied to transparent conductive oxides of the advanced flat panel display.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
DC마그네트론 스퍼터링법으로 PET 기판위에 저온 증착한 ITO박막의 비저항과 굽힘 저항성에 대한 RF인가의 영향
한국표면공학회지
2008 .10
-
Characteristics of ITO Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering using for Flexible Displays
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2008 .06
-
RF 부가형 DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 PET 기판에 증착한 ITO 박막의 전기적 및 기계적 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
-
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 ITO 박막의 공정압력 변화에 따른 특성
반도체디스플레이기술학회지
2010 .01
-
DC magnetron sputtering 방법으로 형성한 Indium-Tin-Oxide(ITO) 박막의 특성 연구
한국정보통신학회논문지
2006 .03
-
DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ITO 초박막의 SnO2 함량에 따른 물성 변화
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2012 .05
-
반응성 마그네트론 프로세스에 의한 ITO박막 형성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1992 .07
-
고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 제작한 ITO 박막의 표면형태 및 전기적 특성
센서학회지
2006 .01
-
Properties of Ag/ITO film deposited using the DC magnetron sputtering
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
-
반응성 DC 스퍼터법으로 제조한 ITO 박막의 물성에 미치는 RF-bias의 영향
한국표면공학회 학술발표회 초록집
1999 .10
-
반응성 dc 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 ITO박막에 미치는 산소분압의 영향
한국표면공학회지
1998 .06
-
반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 박막의 전기적 특성 평가
한국표면공학회지
2014 .12
-
RF/DC 중첩형 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 증착한 ZIO 박막의 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
-
RF magnetron sputtering에 의해 제조된 ITO 박막의 특성 및 열처리에 의한 특성 변화
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2008 .04
-
RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 유기 EL용 ITO 박막의 증착
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
-
Properties of ITO (Indium Tin Oxide) Thin Films Prepared by Magnetron Sputtering Using DC and Pulse Modes
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2012 .05
-
진공 열처리에 따른 ITO 박막의 특성 변화
열처리공학회지
2013 .01
-
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ITO 기판에 불순물 증착에 관한 연구
전기학회논문지 P
2015 .12
이 논문의 저자 정보
이 논문과 함께 이용한 논문
반응성 DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 박막의 전기적 특성 평가
김민제
,
정재헌
,
송풍근
한국표면공학회지
2014
.12
DC/RF 중첩형 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 ITO 초박막의 SnO2 함량에 따른 전기적 ,광학적 특성 및 미세구조 변화
강세원
,
송풍근
한국진공학회 학술발표회초록집
2012
.08
Effect of Substrate Temperature on Characteristics of IZTO and ITO Thin Films Deposited by Pulsed DC Magnetron Sputtering System
Chang Hun Lee
,
Jung Ae Bae
,
Yoon Duk Ko
외 5명
한국진공학회 학술발표회초록집
2011
.02
RF 파워 변화에 따른 ITZO (In - Sn - Zn - O) 박막의 전기적, 광학적, 구조적 특성
서진우
,
정양희
,
강성준
한국정보통신학회논문지
2014
.02
CIGS 박막 태양전지의 윈도우층 응용을 위한 ZnO/ITO 두께에 따른 광학적, 전기적 특성 분석
조대형
,
정용덕
,
박래만
외 4명
한국통신학회 기타 간행물
2009
.12
최근 본 자료
댓글(0)
0
UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-581-014783081