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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2008 춘계학술대회 논문집
발행연도
2008.5
수록면
326 - 329 (4page)

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This paper is concerned with the precision material property measurement of a micro metal thin foil (Ni-99.9%) that is used in MEMS technology. Since these MEMS components require great precision and accuracy, evaluation of reliability such as the life cycle endurance test, impact test, and residual stress test is necessary for these components. However, in practice, real reliability tests are not easy to perform due to consideration of various factors. Rather than actual testing, it would be much easier to evaluate the reliability of components by the analytical approach. Although the analytical method is utilized by numerical software tools, it is obviously necessary to acquire fundamental properties of materials through real test methods. But the acquisition method of micro strain data is so difficult in micro tensile testing, because the micro tensile testing specimen has several micros thickness and small size of shape. So we research on the measurement method of micro strain data using a vision image analysis.
#마이크로 금속 성형(Micro Metal Forming) #성형 가공 시스템(Forming Manufacturing System) #마이크로 박판 밸브(Micro Thin Foil Valve) #다공정(Multi Processing)

목차

Abstract
1. 서론
2. 비전 마이크로 변형률 측정 시스템
3. 비전 마이크로 변형률 측정 방법
4. 마이크로 Ni 박판소재의 물성평가 결과 분석
5. 결론
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