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Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.25 No.8
발행연도
2008.8
수록면
21 - 28 (8page)

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Fizeau interferometer is used for inspecting the lens surface profile accurately. This study is focused on the design and optical measuring techniques for Large optical components, such as a reflection mirror for large area lithography or astronomical purpose. A tower type Fizeau interferometer is designed and set up in horizontally with a 45° fold mirror which makes easy to align the optical path of heavy interferometer system. To align the optical path, a five-axes stage for the interferometer is required. This study shows a method of the 45° fold mirror alignment by using a three-axis stage instead of adjusting the interferometer itself or measuring object. This system will be installed on the large optics polishing machine during the manufacturing process as an on-machine inspection system.
#Fizeau Interferometer(피조 간섭계) #Fold Mirror(폴드미러) #Large Optics(대구경 렌즈) #OMM(On Machine Measurement)

목차

ABSTRACT
1. 연구배경
2. 대구경 렌즈 측정 장치 설계 및 제작
3. 실험 및 결과 분석
4. 검토 및 결론
후기
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