체크밸브가 달린 열공압 방식의 PDMS-유리 마이크로 펌프에 관한 연구

고용준; 조웅; 안유민

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자료유형: 학술저널

저자정보: 고용준 조웅 안유민

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제32권 제9호

발행연도: 2008.9

수록면: 720 - 727 (8page)

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Microfluidic single chip integrating thermopneumatic micropump and micro check valve are developed. The micropump and micorvalve are made of biocompatible materials, glass and PDMS, so as to be applicable to the biochip. By using the passive-type check valve, backward flow and fluid leakage are blocked and flow control is stable and precise. The chip is composed of three PDMS layers and a glass substrate. In the chip, flow channel and pump chamber were made on the PDMS layers by the replica molding technique and pump heater was made on the glass substrate by Cr/Au deposition. Diameter of the pump chamber is 7 ㎜ and the width and depth of the channel are 200 and 180㎛, respectively. The PDMS layers chip and the heater deposited glass chip are combined by a jig and a clamp for pumping operation, and they are separable so that PDMS chip is used as a disposable but the heater chip is able to be used repeatedly. Pumping performance was simulated by CFD software and investigated experimentally. The performance was the best when the duty ratio of the applied voltage to the heater was 33%.

#Thermopneumatic Micropump(열공압 마이크로펌프) #PDMS Micro Check Valve(PDMS 마이크로 체크밸브) #Detachable PDMS-Glass Micropump(분리식 PDMS-유리 마이크로펌프)

참고문헌 (14)

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1. [학술지(정기간행물)] - 라광열 / 2006 / 나노입자를 이용한 마이크로 바이오칩의 전기적 신호검출 / 대한기계학회논문집 A 30 (1) : 1 ~ 7

2. [학술지(정기간행물)] - 안유민 / 2006 / 시료주입시 기포발생이 억제된 반응조 형태의 중합효소연쇄반응용 PDMS/유리 바이오칩 / 대한기계학회논문집 A 30 (10) : 1261 ~ 1268

3. [학술지(정기간행물)] - Shoji, S. / 1994 / Microflow Devices and Systems / J. Micromech. Microeng 4 : 157 ~ 171

4. [학술지(정기간행물)] - Maeng, J.-S. / 2003 / Performance Analysis of the Viscous-driven Micropump with Tandem Rotating Cylinders / Trans. of the KSME (A) 27 (9) : 1256 ~ 1261

5. [단행본] - Zengerle, R. / 1992 / A Micro Membrane Pump with electrostatic actuation / in Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems : 19 ~ 24

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