Pulsed Magnetron Sputtering Deposition of DLC Films Part Ⅰ : Low-Voltage Bias-Assisted Deposition

Konstantin V. Oskomov ,  Hui-Gon Chun ,  Yong-Zoo You 외 7명

한국표면공학회지

2002 .02

Deposition of TiO thin films using grid-assisting magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Yong M. Kim ,  Yun M. Chung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .05

Pulsed Magnetron Sputtering을 이용한 DLC 박막 형성에 관한 연구

이징혁 ,  천희곤 ,  유용주 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

FABRICATION OF HIGH QUALITY YBa₂CU₃O_y THIN FILMS USING PULSED LASER DEPOSITION

Eun-Hong Lee ,  Sang-Jin Pa ,  k 외 5명

한국표면공학회지

1996 .10

Bipolar pulsed DC magnetron sputtering에서 정적 증착과 동적 증착에 의한 박막특성 변화

양원균 ,  주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

Comparative study of microstructure and mechanical properties for films with various deposition rate by magnetron sputtering

Kyung H. Nam ,  Yun M. Jung ,  Jeong G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

Magnetron PECVD 에 의한 DLC 박막의 제작에 관한 연구

김성영 ,  이재성 ,  박진석

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

펄스 레이저 증착법에 의한 DLC 박막 제작 연구

정영식 ,  은동석 ,  이상렬 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

Sputtering Deposition 의 특성과 그 응용

권식철

한국표면공학회지

1981 .03

펄스 레이저 증착법에 의한 $PbYb_{1/2}/Ta_{1/2}/O_3$ Thin Films Deposited by Pulsed Laser Deposition

김이준 ,  정동근 ,  김용성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Deposition of Cu-Ni films by Magnetron Co-Sputtering and Effects of Target Configurations on Film Properties

Soo-Hyung Seo ,  Chang-Kyun Pa ,  k 외 3명

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2003 .02

증착율 변화에 따른 TIO 박막의 전기적, 광학적 특성 변화

문현주 ,  김대일

열처리공학회지

2016 .01

Deposition of IGZO thin film using DC and ICP at magnetron sputtering system

C. H. Lee ,  K. N. Kim ,  T. H. Kim 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

펄스 레이저 증착법에 의한 (Pb_0.72La_0.28)Ti_0.93O₃ 박막의 제작 및 특성

沈坰晳 ,  李相烈

전기학회논문지 C

1999 .05

ITO thin film electrode deposition on plastic substrates by DC magnetron sputtering

이종걸 ,  이선영 ,  김성수

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2008 .04

Pulsed DC Power Magnetron Sputter System을 사용한 Copper 박막 특성 조절

김도한 ,  이수정 ,  김태형 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .05

Segment-structured DLC Deposition on Three-Dimensional Substrate

Mai Takashima ,  Kei Kanzawa ,  Shin Matsuo 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

펄스 레이저 증착법에 의한 (Pb_0.72La_0.28)Ti_0.93O₃ 박막의 증착

은동석 ,  박정흠 ,  이상렬 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

Properties of magnetron sputtering cathodes having high deposition rate and wide erosion area

Jang Sick Pa ,  k ,  Tae Woo Kim 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2005 .05