플라즈마 화학 기상 증착법을 이용한 SiO<SUB>x</SUB>N<SUB>y</SUB> 막의 flexible 평판 디스플레이에 적용하기 위한 확산 방지막으로의 효과

김홍범; 이준희; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김홍범 이준희 염근영

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006 춘계 학술발표회 초록집

발행연도: 2006.4

수록면: 128 - 128 (1page)

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