SiO₂/Si₃N₄ 2중층 박막의 유전특성

고길영 ,  김균식 ,  홍능표 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向

成英權

전기의세계

1985 .06

Si$O_{2}/{Si}_{0.7}{Ge}_{0.3}/SiO_{2}$계에서의 계면응집현상에 의한 양자점 형성에 관한 연구

윤태식 ,  권장연 ,  이동훈 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Capacitance-Voltage Characteristics in the Double Layers of SiO₂/Si₃N₄

洪能杓 ,  洪眞雄

전기학회논문지 C

2003 .10

SIMS를 이용한 SiO₂/PSG/SiO₂/Al-1%Si 및 SiO₂/TEOS/SiO₂/Al-1%Si 적층 박막내의 Na 게터링 분석

김진영

한국표면공학회지

2018 .04

SiO2-Si 구조의 계면준위 측정에 미치는 빛의 영향 ( The Effect of Illumination on Surface State Density measurement of SiO2-Si Structure )

민병훈 ,  이정한

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

D. C. 전압 인가에 의한 Pd-SnO_x-Si₃N₄-SiO₂-Si-Al 캐패시터의 산소흡착/탈착 반응

이재홍 ,  이주헌 ,  김창교

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .07

AL / ZnO / Si3N4 / SiO2 / Si 구조의 전기적 특성 및 가스 감지 효과 ( Electrical Property and Gas Sensing Effect of Al / ZnO / Si3N4 / SiO2 / Si Structure )

최시돈 ,  이종현 ,  이덕동 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1983 .01

Si-SiO2 계의 N2 Plasma 처리효과에 관한 연구 ( A Study on the Effect of N2 Plasma Treatment on the Si-SiO2 System )

성영권 ,  오재하 ,  이내인 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

선형접합기를 이용한 Si∥1.3㎛-SiO₂/1.3㎛-SiO₂∥Si SOI 기판의 직접접합

송오성 ,  이영민 ,  이상현 외 2명

한국표면공학회지

2001 .02

SiO₂ 콜로이달에 의한 Si₃N₄ 복합 세라믹스의 상온굽힘강도 및 균열치유 현상

남기우 ,  김종순 ,  이희방

대한기계학회 논문집 A권

2009 .07

Si３N４ / SiO２ / Si３N４ 다이아프레임을 이용한 광섬유 압력센서 ( Fiber Optic Pressure Sensor Using the Si３N４ / SiO２ / Si３N４ Daiphragm )

김명규 ,  유양욱 ,  박동수 외 3명

한국통신학회 광전자공학 학술회의

1996 .01

Si3N4 / SiO2 / Si3N4 다이아프레임을 이용한 광섬유 압력센서 ( Fiber Optic Pressure Sensor Using the Si3N4 / SiO2 / Si3N4 Daiphragm )

김명규 ,  유양욱 ,  박동수 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

〈논문〉SiO₂ 콜로이달 첨가에 의한 Si₃N₄ 복합 세라믹스의 Morphology

남기우 ,  박승원 ,  김종순 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .06

Passivations of High-Voltage Planar Devices Using SiO2-Si3N4-SiO2 Film

김병철 ,  윤동현 ,  이종홍 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

PECVD를 이용한 SiO2 / Si3N4 박막의 특성 고찰 ( Characteristics of SiO2 / Si3N4 Films Using the PECVD Method Under Various Conditions )

김우진 ,  임우택 ,  김재영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1991 .11

이온주입시킨 Si-SiO2 계면에서의 전자상태 계산 ( Self-consistent Calculation of Electronic States at ion-implanted Si-SiO2 interface )

김충원 ,  공준진 ,  박성호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

$ZnO/SiO_2/Si$ 구조의 결정 배향성에 관한 연구

정재문 ,  김효진 ,  임영언

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01