직접 접합에 의한 Al2O3 SOI 구조 제작

공대영 ,  이종현 ,  배영호 외 1명

센서학회지

2005 .01

수소 플라즈마에 의해 표면 활성화된 실리콘 기판을 이용한 SOI 기판 제작에 관한 연구

최우범 ,  주철민 ,  이종석 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1999 .07

수소 플라즈마를 이용한 SOI 기판 제작 및 SOI 전력용 반도체 소자 제작에 관한 연구

성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .11

열처리 방법에 따른 SiO-SiN SOI 기판쌍의 접합강도변화

이상현 ,  송오성

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

SOI 기술의 연구동향

이종현

전자공학회지

1987 .08

APPLICATIONS OF SOI DEVICE TECHNOLOGY

Kunkul Ryoo

한국표면공학회지

1996 .10

SOI 구조를 이용한 실리콘 압저항 가속도계의 설계 및 제작

양의혁 ,  양상식 ,  한상우

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

박막 SOI의 결정질 및 전기적 특성 ( Crystalline and Electrical Properties of a Thin-Film SOI )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

SOI 기술의 이해와 고찰: 소자 특성 및 공정, 웨이퍼 제조

최광수

한국재료학회지

2005 .01

CO2 레이저 열처리에 의한 SOI 구조에서의 다결정 실리콘의 재결정화 ( The Recrystallization of Polysilicon in SOI by CO2 Laser Annealing )

오민록 ,  안철

전자공학회논문지

1987 .11

접합형 SOI 웨이퍼에 존재하는 결함분포

이곤섭 ,  박정민 ,  이재선 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

Fabrication of low-g MEMS acceleration switch using SOI-Glass bonding

Jeongki Hwang ,  Sukwon Jang ,  Sung 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2015 .11

A TREND OF SOI WAFER TECHNOLOGY FOR THE NEXT GENERATION DEVICE APPLICATIONS

Ryoo ,  Kun-Kul

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Ground Plane SOI MOSFET의 단채널 현상 개선

장성준 ,  윤세레나 ,  유종근 외 3명

전자공학회논문지-SD

2004 .04

SOI 웨이퍼에 기반한 가스 센서용 실리콘 마이크로 히터 설계

조인철 ,  강경남 ,  박인규

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

웨이퍼 접합 방법을 이용한 SOI 웨이퍼 제작

강성건 ,  서광 ,  김흥락 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

SOI 웨이퍼 제조공정의 온도해석

정경훈 ,  김옥삼

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2000 .05

Si기판 직접접합기술을 이용한 박막 SOI구조의 형성과 고감도 Si 홀 소자에의 응용 ( Formation of Thin Film SOI Structures and Its Application to a High-Sensitivity Si Hall Device Using Si-wafer Direct Bonding Technology )

정귀상

대한전자공학회 학술대회

1994 .01