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대한기계학회 대한기계학회 논문집 B권 대한기계학회논문집 B권 제32권 제10호
발행연도
2008.10
수록면
800 - 809 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

주사탐침열현미경의 감도향상을 위한 전체 실리콘 산화막 열전탐침의 열적설계 및 일괄제작
정승필 ,  김경태 ,  원종보 외 4명 대한기계학회 논문집 B권 2008.10 학술저널

2007

주사탐침열현미경의 감도향상을 위한 전체 옥사이드 열전탐침의 열적설계 및 일괄제작
정승필 ,  김경태 ,  원종보 외 4명 대한기계학회 춘추학술대회 2007.10 학술대회자료

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Scanning Thermal Microscope (SThM) is the tool that can map out temperature or the thermal property distribution with the highest spatial resolution. Since the local temperature or the thermal property of samples is measured from the extremely small heat transferred through the nanoscale tip-sample contact, improving the sensitivity of SThM probe has always been the key issue. In this study, we develop a new design and fabrication process of SThM probe to improve the sensitivity. The fabrication process is optimized so that cantilevers and tips are made of thermally grown silicon dioxide, which has the lowest thermal conductivity among the materials used in MEMS. The new design allows much higher tip so that heat transfer through the air gap between the sample-probe is reduced further. The position of a reflector is located as far away as possible to minimize the thermal perturbation due to the laser. These full SiO₂ SThM probes have much higher sensitivity than that of previous ones.
#Scanning Thermal Microscope:SThM (주사탐침열현미경) #Thermo-resistive Probe(열저항 탐침) #Thermoelectric Probe(열전탐침)

목차

Abstract
1. 서론 및 연구 배경
2. 열적설계
3. 탐침 제작 공정
4. 열전탐침의 성능 및 특성 실험
5. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
Majumdar, A , 1999 , Scanning Thermal Microscopy , Annu. Rev. Mater. Sci 29 : 505 ~ 585 google schola Li Shi , 2001 , Design and Batch Fabrication of Probes for sub-100 nm Scanning Thermal Microscopy , J. MEMS 10 (3) : 370 ~ 378 google schola Hee Hwan Roh , 2006 , Novel nanoscale thermal property imaging technique: The 2 omega method. I. Principle and the 2 omega signal measurement , JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 24 (5) : 2398 ~ 2404 google schola Hee Hwan Roh , 2006 , Novel nanoscale thermal property imaging technique: The 2 omega method. II. Demonstration and comparison , JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B 24 (5) : 2405 ~ 2411 google schola Kim, S. U , 2007 , Thermal Conductivity Measurement for Diamond Thin Film using Modified 3 Method , The Eighteenth International Symposium on Transport Phenomena google schola

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