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Ir-Re thin films with Ti interlayer were deposited onto the tungsten carbide substrate by ion beam assisted DC magnetron sputtering. The Ir-Re films were prepared with targets of having two atomic percent of 7:3 and 5:5. The microstructure and surface analysis of the specimen were conducted by using SEM, XRD and AFM. Mechanical properties such as hardness and adhesion strength of Ir-Re thin film also were examined. The interlayer of pure titanium was formed with 100 ㎚ thickness. The film growth of Ir-30at.%Re was faster than that of Ir-50at.%Re in the same deposition conditions. Ir-Re thin films consisted of dense and columnar structure irrespective of the different target compositions. The values of hardness and adhesion strength of Ir-30at.%Re thin film coated on WC substrate were higher than those of Ir-50at.%Re thin film.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (9)
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1. [학술지(정기간행물)] - H. Suzuki / 1998 / / J. Japan Soc Prec. Engg 62 (4) : 619 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 김상석 / 2006 / 레이저 빔 프린터용 F-theta Lens 개발 / 전기전자재료학회논문지 19 (4) : 386 ~ 390
3. [학술대회논문] - M. J. Chen / 2002 / Journal of Materials Processing Technology : 91 ~ 95
4. [학술지(정기간행물)] - 김현욱 / 2006 / 비구면 Glass 렌즈 성형용 초경합금(WC) 코어의 DLC 코팅 효과 / 전기전자재료학회논문지 19 (11) : 1050 ~ 1054
5. [학술지(정기간행물)] - H. U. Kim / 2007 / / Key Engineering Materials 345 : 1577 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 김상석 / 2006 / 레이저 빔 프린터용 F-theta Lens 개발 / 전기전자재료학회논문지 19 (4) : 386 ~ 390
3. [학술대회논문] - M. J. Chen / 2002 / Journal of Materials Processing Technology : 91 ~ 95
4. [학술지(정기간행물)] - 김현욱 / 2006 / 비구면 Glass 렌즈 성형용 초경합금(WC) 코어의 DLC 코팅 효과 / 전기전자재료학회논문지 19 (11) : 1050 ~ 1054
5. [학술지(정기간행물)] - H. U. Kim / 2007 / / Key Engineering Materials 345 : 1577 ~
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