A Study on the properties of aluminum nitride films on the Al7075 deposited by pulsed DC reactive magnetron sputtering

Jung-hyo Kim ,  Byung-Chul Cha ,  Keun-Hak Lee 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .11

Al thin films of high density deposited with magnetron sputtering

Ji Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung ,  Min-A Song 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

Effects of Substrate Temperature and Deposition Angle on Crystallinity of Tin-nitride Films Synthesized by Reactive Sputtering

Masataka Kato ,  Taku Ishii ,  Yusuke Ohta 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

RF Magnetron Sputtering법으로 제조한 AlN박막의 우선배향성

진덕용 ,  최대규 ,  이창엽

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS

Kim ,  Hyung-T. ,  Whang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Mechanical Properties of TiN Films Deposited with Magnetron Sputtering

Min-A Song ,  Ji-Hoon Yang ,  Jae-Hun Jung 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

DC Magnetron Sputtering에 의해 증착된 알루미늄 박막의 특성

표재확 ,  연충규 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

Nucleation and growth mechanism of nitride films deposited on glass by unbalanced magnetron sputtering

Min J. Jung ,  Kyung H. Nam ,  Jeon G. Han

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

RF-magnetron sputter법을 이용한 silicon nitride 박막의 제조

하윤정 ,  이상운 ,  신재혁 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2003 .10

Magnetron sputtering을 이용한 Zu-Mg 박막의 합성 및 특성에 관한 연구

라정현 ,  이창민 ,  김범석 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2011 .11

R.F 마그네트론 스퍼트링으로 작성된 TiO₂박막의 NO_x 감지 특성

高羲石 ,  朴在潤 ,  朴相鉉

전기학회논문지 C

2002 .11

Crystallinity of Microvillus-like Structured Iron-silicide Films Deposited by Glancing-angle Sputtering

Yusuke Ohta ,  Taku Ishii ,  Masataka Kato 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

The Characteristics of Cu₂O Thin Films Deposited Using RF-Magnetron Sputtering Method with Nitrogen-Ambient

Seong Hyun Lee ,  Sun Jin Yun ,  Jung Wook Lim

[ETRI] ETRI Journal

2013 .12

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

Preparation of AIN Thin Films on GaAs ( 100 ) by RF Sputtering

정성훈 ,  김영호 ,  송복식 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01