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저자정보
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2008년도 추계학술대회
발행연도
2008.11
수록면
1,902 - 1,907 (6page)

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The current work presents a design and fabrication technique for a microchannel system to measure the local temperature distribution inside microchannel. This micro channel system fabricated by MEMS technique is integrated with a heater and an array of temperature sensors so that detailed heat transfer phenomena inside micro-scale channel can be studied. Materials widely used in semiconductor process were selected to fabricate a heater and temperature sensors on a silicon wafer. On these heater and sensors a channel wall was fabricated with SU-8. The friction constant and the local Nusselt number distribution measured for the deionized water flow in the microchannel is presented.
#Heat transfer(열전달) #Microchannel(마이크로채널) #Entry region(입구 영역) #Local temperature distribution(국소 온도 분포) #Local Nu distribution(국소 누셀트 수) #MEMS fabrication(MEMS 제작)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치 제작 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌

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