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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
대한기계학회 기계저널 기계저널 제49권 제3호
발행연도
2009.3
수록면
39 - 43 (5page)

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1980대 후반~1990년대 전반 : MEMS 태동기 - MEMS, 소수 전공자들만의 비법으로 그 자체만으로 존재 가치를 인정받다
1990년대 후반 : 닷컴 붐과 정보통신, MEMS 성장기 - MEMS, 타 분야와의 융합을 통해 그 부가가치를 높이다
2000년대 : 바이오와 나노, MEMS 안정기 - MEMS 거품이 꺼지다. Tool Technology로서 더욱 그 부가가치를 높이다
2000년대 후반 : MEMS, 또 하나의 생산기술

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