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한국전자파학회 한국전자파학회논문지 韓國電磁波學會論文誌 第20卷 第3號
발행연도
2009.3
수록면
303 - 312 (10page)

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본 연구에서는 초고주파를 사용하여 플라즈마 가시광을 발생시키기 위한 전계 집속형 도파관 시스템을 제안하였다. 이 시스템은 초고주파 전력 공급기인 마그네트론, 전력 전송을 위한 도파관부 및 메쉬형 공동으로 이루어진 반응기로 구성된다. 소량의 황 분말과 버퍼 가스인 Ar이 봉입된 석영 벌브를 반응기 내에 위치시키고, 강한 전계를 집속시킴으로써 황 플라즈마가 생성 및 여기되도록 하였다. 즉, 도파관과 반응기의 내벽에 각각 도체팁을 장착시키고, 그 사이에 플라즈마 벌브를 위치시킴으로써 벌브에 강한 전계가 집중되도록 하였다. 또한 플라즈마 생성 과도기에서, 플라즈마의 전기적 도전성 변화에 따른 정합 특성의 열화를 최소화할 수 있는 도파관부를 설계하여 안정적으로 동작되도록 하였다. 최종적으로 2.45 ㎓ 알루미늄 도파관 시스템을 제작하고, 400 W급 마그네트론을 사용한 가시광 방출 실험을 통해 설계된 시스템의 타당성을 검증하였다.
#Waveguide #Cavity Resonator #Plasma #Electric Field Focusing

목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 플라즈마의 전기적 특성
Ⅲ. 도파관 시스템 분석
Ⅳ. 전계 집속형 도파관 시스템
Ⅴ. 제작 및 실험
Ⅵ. 결론
참고문헌

참고문헌 (17)

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1. [학술지(정기간행물)] - J.M.Osepchuk / 2002 / Microwave power applications / Microwave Theory Tech 50 (3) : 975 ~ 985 google schola 2. [단행본] - C. M. Ferreira / 1993 / Microwave Discharges: Fundamentals and Applications / New York: Plenum google schola 3. [학술지(정기간행물)] - S. R. Wylie / 2005 / Microwave plasma system for material processing / IEEE Trans. Plasma Science 33 (2) : 340 ~ 341 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - N. K. Podder / 2001 / A microwave generated plasma in a tunable resonant cavity for studies of turbulence in weakly ionized gases / IEEE Trans. Plasma Science 29 (6) : 965 ~ 969 google schola 5. [기타자료] - J. E. Simpson / 1994 / Microwave discharge device with TMnmo cavity", U.S. Patent 5 361 274 google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-427-019434488