백색광을 이용한 곡률 측정법 개발

김병창

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김병창

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회지 한국기계가공학회지 제7권 제3호

발행연도: 2008.9

수록면: 81 - 86 (6page)

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I present a 3-D profiler specially devised for the profile measurement of specular surfaces that requires precision shape accuracy up to a few nanometer. A profile is reconstructed from the curvature of a test part of the surface at several locations along a line. The local curvature data are acquired with White-light Scanning Interferometry. Test measurement proves that the proposed profiler is well suited for the specular surface inspection like precision mirror.

#3-D profiler(3차원 형상측정기) #curvature measurement(곡률측정) #specular surface(유리면)

참고문헌 (11)

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1. [학술지(정기간행물)] - P. Thomson-Schmidt / 2000 / A facility for the curvature-based measurement of the nano-topography of complex surfaces, in Optical Devices and Diagnostics in Materials Science / Proc. SPIE 4098 : 94 ~ 101

2. [학술지(정기간행물)] - I. Weingartner / 2001 / Measurement of steep aspheres: a step forward to nanometer accuracy, in Optical Metrology for the Semiconductor, Optical, and Data Storage Industries II / Proc. SPIE 4449 : 195 ~ 204

3. [학술지(정기간행물)] - C. Elster / 2002 / Reconstructing surface profiles from curvature measurements / Optik 113 (4) : 154 ~ 158

4. [학술지(정기간행물)] - P.E.Glenn / 1990 / Angstrom level profilometry for submillimeter to meter scale surface errors, in Advanced Optical Manufacturing and Testing / Proc. SPIE 1333 : 326 ~ 336

5. [학술지(정기간행물)] - P.E.Glenn / 1992 / Lambda-over-one-thousand metrology results for steep aspheres using a curvature profiling technique, in Advanced Optical Manufacturing and Testing II / Proc. SPIE 1531 : 61 ~ 64

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김병창

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