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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.5
- 수록면
- 141 - 146 (6page)
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By using the plasma, which is operated by high temperature arc plasma torch, we tried to make an investigation for discomposing characteristic of PFCs gas flow. As we tried to get some information of each discomposing efficiency by each of electric power of PFCs gas flow, the quantity of flow of fluid, and the quantity of N₂, we found that the discomposing efficiency has been decreased when quantity of flow of each PFCs gas flow were increased under the same electric power in plasma reactor. Also as we generated the plasma with supplying Na gas and CF₄ gas, 96% more of decomposing efficiency of CF₄ were increased by contrast with electric power. As we made an experiment by using high temperature arc plasma which are operated by plasma torch, it seems to be required over 20㎾ electric power for high decomposing efficiency of PFCs gas flow (SF?, NF₃, CF₄) from semiconductor process emissions.
목차
ABSTRACT
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험 결과 및 분석
4. 결론
후기
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