Surface Topography on Silicon by AFM-based Nanomachining using PCD Tip

Jeong Woo Park; Deug Woo Lee

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Jeong Woo Park Deug Woo Lee

저널정보: 한국기계가공학회 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 한국기계가공학회 2009년도 춘계학술대회

발행연도: 2009.6

수록면: 131 - 132 (2page)

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Surface Topography on Silicon by AFM-based Nanomachining using PCD Tip

Jeong Woo Pa , k , Deug Woo Lee 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2009.06 학술대회자료

Surface Topography on Silicon by AFM-based Nanomachining using PCD Tip

Jeong Woo Pa , k , Deug Woo Lee 한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집 2009.06 학술대회자료

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This paper demonstrates mechanical nanomachining of single crystal silicon using an atomic force microscope with a polycrystalline diamond (PCD) tip cantilever. To enable nanomachining of silicon, a nanomachining cantilever with a pyramidal PCD tip was developed using mems-based photolithography and hot-filament chemical vapor deposition (HF-CVD). Mechanical nanomachining experiments on silicon using the cantilever are demons ... 전체 초록 보기

#AFM(Atomic Force Microscope) #Brittle Material #Tribo Nanolithography #PCD Tools

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