무밸브 마이크로 펌프의 성능평가를 위한 3차원 전기-유체-구조 상호작용 해석

팜마이; 판반푸억; 한철희; 구남서

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자료유형: 학술저널

저자정보: 팜마이 판반푸억 한철희 구남서 (건국대학교)

저널정보: 한국항공우주학회 한국항공우주학회지 韓國航空宇宙學會誌第37卷第8號

발행연도: 2009.8

수록면: 744 - 750 (7page)

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본 논문에서는 압전 작동기로 구동되는 무밸브 마이크로 펌프의 펌프 성능을 계산하였다. 선행연구에서 개발된 마이크로 펌프는 4층의 경량 압전 복합재료 작동기, PDMS로 된 챔버와 2개의 디퓨져로 이루어져 있다. 유한요소 해석은 압전 영역, 구조 영역 및 유체 영역을 완전 연성하여 수행되었다. 구조 및 압전 영역의 해석은 ANSYS를 사용하였으며, 유체영역의 해석은 ANSYS CFX를 사용하여 수행하였다. 작동 주파수가 10 ㎐와 40 ㎐인 경우에 대한 해석을 수행하여 작동 주파수가 유동 특성에 미치는 영향을 고찰하였다. 또한 300 ㎐까지의 유동 해석을 통하여 작동 주파수에 따른 유량을 계산하였다.

#Micropump(마이크로 펌프) #Piezo-composite actuator(압전 복합재료 작동기) #Micro-electo-mechanical system(MEMS) #Electro-fluid-structural interaction(전기-유체-구조 상호작용)

참고문헌 (9)

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1. [학술지(정기간행물)] - 김도현 / 2004 / 마이크로플루이딕 시스템 현황 / Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK) 42 (4) : 375 ~ 386

2. [학술지(정기간행물)] - P. Woias / 2005 / Micropumps-past, progress and future prospects / Sensors and Actuators B 105 : 28 ~ 38

3. [학술지(정기간행물)] - N.T. Nguyen / 2002 / MEMS-Micropumps: A Review / ASME 124

4. [학술지(정기간행물)] - . J. Yoon / 2002 / Design and Manufacturing of LIghtweight Piezo-composite Curved Actuator / Smart Materials and Structures 11 : 163 ~ 168

5. [학술대회논문] - K. Mossi / 2003 / Pre-stressed Curved Actutors: Characterization and Modeling of their Piezoelectric Behavior / Proceeding of SPIE's 10th Annual International Symposium on Smart Structures and Materials

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